第(2/3)页 「阿密特先生,我对其他半导体公司的经营情况不了解,不敢妄加评论,但我认为GcA的明天会更美好。」 哈哈…… 「艾德里安总裁,由于EUV光刻机技术复杂,耗资巨大,我建议由GcA出资5亿美元,成立一家GcAEUV光刻机股份有限责任公司,邀请蔡司公司、cymer、INtEL、Ibm、tI、Amd、hp、台积电和三星等公司加入,集资50亿美元,共同研发。」 去年11月初,EUVLLc联盟已经证明制造EUV光刻机在理论上的可行性,EUVLLc联盟的任务已经完成,12月初宣布解散,研制EUV光刻机的重担落在GcA的肩上。 成立EUc光刻机股份公司也是这次董事会的议案之一,借助于其他公司的技术和资本市场的力量,来完成这项人类历史上最复杂的技术项目。 只要项目有前途,即使多年亏本,也会有资 本愿意投入。 无知者无畏! GcA光刻机半导体研究院院长汤普森院士从1993年7月开始研发EUV,GcA前后投资了1.5亿美元,也没有取得成功,1997年7月自动放弃了研究。 1997年10月,汤普森院士出面邀请英特尔和美国能源部共同开发EUV。 作为前EUVLLc联盟的cto,汤普森院士明白EUV技术非常复杂,由于极紫外光在地球上不会自然产生,它会被空气吸收,这个过程必须在真空中进行,其中涉及用高功率激光以每秒5万次的速度轰击锡滴,使其产生能够发射极紫外光的等离子体,然后,光被一系列镜子聚焦,反射在一个掩膜版上。掩膜版上面刻有电路图案,能阻挡并吸收一些光,通过这种方式,电路图案被刻蚀在晶圆上。 理论变成产品,前期研发投资最少需要50亿美元,GcA也负担不起,凭借GcA一家的技术,也研究不出来。 「好的,董事长!」 艾德里安笑了,孙董事长一锤定音。 「我代表悟空天使投资基金投资2亿美元,入股GcAEUV光刻机股份公司。」 「董事长,INtEL愿意入股。」 第(2/3)页